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“我们比光刻更懂光刻”

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3D轮廓仪

产品详情

3D轮廓仪

我们提供不同检测、量测解决方案,实现对样品表面粗糙度、台阶高度、关键部位尺寸及其形貌特征的纳米级二维、三维精密测量和检测。

型号:Nano-X

测量模式: PSI + VSI + CSI 

Z轴测量范围: 大行程PZT 扫描 (300um 标配/500um选配) 10mm 精密电机拓展扫描 

CCD相机: 1920x1200 高速相机(标配) 

干涉物镜: 2.5X, 5X, 10X(标配), 20X, 50X, 100X(NIKON ) 

物镜切换: 5孔电动鼻切换 

FOV: 1100x700um(10X物镜),  220x140um(50X物镜) 

Z轴聚焦: 高精密直线平台自动聚焦 

照明系统: 高效长寿白光LED + 滤色镜片电动切换(绿色/蓝色) 

倾斜调节: ±5°电动调节 

横向分辨率: ≥0.35μm(与所配物镜有关)


3D轮廓仪
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关于我们

公司位于无锡市高新技术园区梅村科技园内,企业围绕无锡市政府打造现代化半导体产业基地的目标,依托长三角完善的半导体工艺产业链和成熟的工业配套能力,聚焦于光刻产品和技术,同时为国内外的泛半导体及微纳加工单位提供光刻设备、材料、工艺及产品一站式解决方案.

 

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