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“我们比光刻更懂光刻”
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3D轮廓仪
产品详情
3D轮廓仪
我们提供不同检测、量测解决方案，实现对样品表面粗糙度、台阶高度、关键部位尺寸及其形貌特征的纳米级二维、三维精密测量和检测。
型号：Nano-X
测量模式： PSI + VSI + CSI
Z轴测量范围： 大行程PZT 扫描 （300um 标配/500um选配） 10mm 精密电机拓展扫描
CCD相机： 1920x1200 高速相机（标配）
干涉物镜： 2.5X, 5X, 10X（标配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )
物镜切换： 5孔电动鼻切换
FOV： 1100x700um(10X物镜), 220x140um(50X物镜)
Z轴聚焦： 高精密直线平台自动聚焦
照明系统： 高效长寿白光LED + 滤色镜片电动切换（绿色/蓝色）
倾斜调节： ±5°电动调节
横向分辨率： ≥0.35μm（与所配物镜有关）
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